儀器型號(hào)

PZ-5040H

工作臺(tái)

玻璃臺(tái)尺寸（mm）

560*460

運(yùn)動(dòng)行程（mm）

500*400

儀器重量（kg）

380

外形尺寸（mm）

1100*950*1660

Z軸升降行程

200 mm

X、Y、Z數(shù)顯分辨力

0.5μm

工作距離

92 mm

X、Y坐標(biāo)示值誤差

(2.5+L/100) μm (L為被測(cè)長度，單位：mm)

影

像

系

統(tǒng)

攝像機(jī)

1/2”彩色CCD

變倍鏡頭倍率

0.7X—4.5X

物方視場(chǎng)

11.1mm～1.7mm

視頻倍率

20~128X

光源系統(tǒng)

表面光源與透射光源均用LED，亮度可調(diào)

探測(cè)系統(tǒng)：
能用標(biāo)準(zhǔn)球、標(biāo)準(zhǔn)環(huán)規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)量塊共三種不同的標(biāo)準(zhǔn)器對(duì)帶有球頭、圓盤頭、圓柱頭等多種形狀探針的探測(cè)系統(tǒng)進(jìn)行校正、存儲(chǔ)、刪除和調(diào)用等操作。

能用多次校正結(jié)果的統(tǒng)計(jì)值（自動(dòng)計(jì)算）作終校正結(jié)果。這有利于減小探針校正的隨機(jī)誤差，提高探針校正的準(zhǔn)確度。

可設(shè)置標(biāo)準(zhǔn)球形狀誤差臨界值﹐判定測(cè)量誤差超差的校正結(jié)果無效。從而避免粗大誤差對(duì)校正結(jié)果的影響。