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平面度測量儀常見的幾種測量方式

更新時間:2025-07-02點擊次數:45

平面度,是屬于形位公差中的一種,指物體表面具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。

平面度誤差是將被測實際表面與理想平面進行比較,兩者之間的線值距離即為平面度誤差值;或通過測量實際表面上若干點的相對高度差,再換算以線值表示的平面度誤差值。

在傳統的檢測方法中,平面度的測量通常有:塞規/塞尺測量法、液平面法、激光平面干涉儀測量法(平晶干涉法)、水平儀/數字水平儀測量法、以及打表測量法。

塞尺測量法  

塞尺主要用于間隙間距的測量,對平面度的測量只能進行粗測。塞尺使用前必須先清除塞尺和工件上的污垢與灰塵。使用時可用一片或數片重疊插入間隙,以稍感拖滯為宜。測量時動作要輕,不允許硬插。也不允許測量溫度較高的零件。目前很多工廠仍使用該方法進行檢測。由于其精度不高,常規最薄塞尺為10um,檢測效率較低,結果不夠全面,只能檢測零件邊緣。

液平面法

液平面法是用液平面作為測量基準面,液平面由 “連通罐"內的液面構成,然后用傳感器進行測量。基于連通器工作原理,適合測量連續或不連續的大平面的平面度,但測量時間長,且對溫度敏感,僅適用于測量精度較低的平面。

激光平面干涉儀測量法

典型的用法是平晶干涉法,用光學平晶的工作面體現理想平面,直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測表面的平面度誤差值,但主要于測量光潔的小平面的測量,如千分頭測量面,量規的工作面,光學透鏡。激光干涉儀現因其體積小,重量輕、無需外接電源的特點被廣泛地應用在光學加工企業,光學檢測機構以及其他要進行光學表面檢測的場合。


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